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第一百八十九章:迎难而上,改变历史(求订(第4页)

这项技术的突破,离不开强大的盟友们。

euv联盟的几百位科学家,发表了大量论文研究euv技术。

身处其中的阿斯慢,能最先了解euv最新研发成果,也拥有花旗国最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造,等技术的优先使用权。

作为交换,花旗国政府拥有对阿斯慢生产的监管权限。这也是为何今天花旗国会对阿斯慢有巨大话语权的原因之一。

euv联盟在二零零三年,认为理论工作已经完成,便在当年解散。

所有的技术成果,都由阿斯慢所掌握,但直到二零一五年,阿斯慢才将euv光刻机做到量产。

中间,因为花旗国顶级光源企业cymer,一直搞不定euv所需光源的研发,阿斯慢就在二零一二年将该公司收购了,投入重金全力研发euv所需的光源。

资金不足时,阿斯慢就从客户手里掏钱。

二零一二年,阿斯麦提出“客户联合投资计划”,拿出百分之二十五的股份,邀请主要客户做联合投资,股东将拥有优先订货权。

英特尔、三星、台急电三家公司凑了五十二亿多欧元,支持euv光刻机的研发,分别拿下了百分之十五,百分之五,百分之三的股份。

光刻机最难的是光源、晶圆曝光台、对准系统和镜头。

国产光刻机涉及几十个学科的顶尖难题,需要将这些难题都钻研一遍。

同时还得找到顶级的供应商。

阿斯慢百分之九十的零部件来自外部采购,但这些零部件都是阿斯慢和供应商共同研发的,专利在阿斯慢的手上。

物镜系统(镜头)是蔡司的,温控、光路修正系统等软件相关专利却是阿斯慢的。

没有这些专利,即使国内厂商拿到蔡司的镜头,也没法发挥蔡司镜头的功效。

阿斯慢近三十年时间,形成了一万多项专利,并且不断的收购,投资和合作开发,打造了整个光刻机的核心部件供应商体系。

顶级的光源,高精度的镜头和精密仪器制作技术,是euv光刻机三大核心技术,阿斯慢的光源来自收购的子公司cymer,镜头来自深度绑定的蔡司,精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。

二十世纪六十年代,华夏也曾研究过光刻机,但在“造不如买”思想下,放弃了光刻机领域的研发。

回顾阿斯慢成为霸主的过程,高远的顶层规划,困境中的自身坚持,以及市场和技术的平衡,万中无一的运气,这些因素缺一不可。

追赶成了华夏的必选项,技术差距虽大,但有了星光科技公司的存在,相信必将会有改变历史的时刻。

现在是二零一零年,阿斯慢也还没有收购,花旗国的顶级光源企业cymer,还没有生产出euv,至少还没有进入量产,迎难而上,一切上应该都还来的及。

沪上微电子集团,是华夏国内唯一的一家,生产光刻机的公司,成立于二零零二年,虽然进步很快,但与国际上的几家光刻机生产企业的差距,仍然是非常的大,只能生产一些低端的光刻机,纳米级别的光刻机,要到二零一八年才能通过验收,而且是90纳米级别的光刻机。

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